超纯水仪在运行中会结垢现象，需要超纯水仪正确的清洗和消毒，以保证超纯水设备的正常运行。
1.超纯水仪清洗细则
随着工作时间的累积，需要进行清洗和消毒的超纯水仪模块，这是因为：硬度或金属的规模，主要生产浓水室内；在离子交换树脂或无机污垢膜（例如，硅）；在离子交换树脂或膜，以有机污染；生物污染超纯水仪模块与系统管路等组成；一起出现上述所有的。
2.超纯水仪的清洗程序和模式
（1）集中清洗消毒的水线；
（2）淡水管道清洗和消毒；
（3）非常干净和消毒的水线。
清洗模式：直板，逆流（低和高pH值即可）;再循环（氧化剂）；
可选清洗模式：再循环，或直顺流而下（低，高pH值可用）。
注：由于硬度标度几乎只发生在浓缩和电极室，低PH值干净新鲜水室不常用。在的或非常严重的结垢混乱的状况，需要保留低PH淡水室清洗。
3.超纯水仪清洗的佳方式
在某些情况下，需要使用一个以上的清洗方法。下面的图表简要总结的污垢，以及佳的清洗/消毒程序。常规消毒好使用高温消毒。低浓度的氧化剂消毒不可用于常规消毒，仅适用于消毒的严重生物结垢，所述*低浓度氧化剂消毒杀菌，然后在高PH值的清洗。对于清洁系统和消毒系统中，有四种类型：低pH值类型;高pH值的类型;氧化低密度型去污;和巴氏杀菌类型。关于低pH值，高的pH值，水氧化去污型低浓度，并作为在以下部分详述的巴氏杀菌类型的描述。当你需要选择高温杀菌，则要启动高温消毒程序。
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